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熱式氣體質(zhì)量流量控制器：熱式質(zhì)量流量傳感器 測量效果是基于通過旁路氣體對加熱的傳感器PT 45進行冷卻。環(huán)境溫度是用一個PT 100測量。沒有必要進行額外的壓力和溫度補償。

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